半导体超纯水终端抛光系统，Lanxess 朗盛 LEWATIT UltraPure 1292 是关键核心材料，专为 18.2MΩ・cm 超纯水制备设计

 

Lanxess 朗盛 LEWATIT UltraPure 1292 超纯水混床树脂

（安装 + 调试）

半导体超纯水终端抛光系统，Lanxess 朗盛 LEWATIT UltraPure 1292是关键核心材料，专为 18.2MΩ・cm 超纯水制备设计，低 TOC、低金属溶出，适配芯片清洗、光刻等严苛场景。安装前预处理：罐体采用 316L 卫生级材质，内部抛光 Ra≤0.8μm，杜绝二次污染；Lanxess 朗盛 LEWATIT UltraPure 1292树脂开箱后用超纯水（电阻率≥15MΩ・cm）浸泡 2h，去除包装残留与细碎颗粒，避免堵塞布水器。装填采用分层湿法装填，阳树脂与阴树脂按 1:2 比例混合，装填高度至罐体 2/3 处，预留反洗膨胀空间。调试阶段：先以超纯水正洗至出水 TOC＜5ppb、电阻率＞17MΩ・cm；控制运行流速 30–40m/h、温度 15–25 ℃，在线监测电阻率、TOC、硅含量，确保朗盛 LEWATIT UltraPure 1292稳定产出电子级超纯水，满足SEMI标准。